频准激光的高性能工业用激光器, 具有窄线宽,高功率,长寿命等特点,在干涉曝光应用中,激光器可提供均匀、稳定的相干光,配合精密光学系统形成高精度干涉条纹,将电路图案精准转移到光刻胶上,为半导体器件的微纳结构制造奠定坚实基础。
解决方案
干涉曝光
波长覆盖范围
177 - 5000nm
频准激光的高性能工业用激光器, 具有窄线宽,高功率,长寿命等特点,在干涉曝光应用中,激光器可提供均匀、稳定的相干光,配合精密光学系统形成高精度干涉条纹,将电路图案精准转移到光刻胶上,为半导体器件的微纳结构制造奠定坚实基础。