P R O D U C T S
305-383nm激光器
基于高功率、低噪声光纤放大以及和频与倍频技术，实现波长在305-383nm范围内任意一个中心波长的高功率窄线宽激光输出。
特点
- 窄线宽：<40kHz
- 低强度噪声
- 高功率
- 主动功率稳定：<0.75% rms，3hrs
- 优异的光束质量（M² <1.3）
- 永不跳模
- 耐高低温、震动的工作环境
应用
- 干涉曝光
- 晶圆量测
- 精密测量
主要参数
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光学参数 |
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型号 |
FL-SF-XXXX-YY-CW(1) |
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可选中心波长 |
305-383nm |
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常用波长 |
355nm |
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运行模式 |
连续 |
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输出功率 |
＞0.3W |
＞1W |
＞2W |
＞4W |
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监控输出功率 |
>3mW |
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调谐范围（温度） |
＞0.12nm，连续不跳模 |
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输出模式 |
空间准直输出，直径0.7-1.0mm |
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线宽（2）（100us积分时间） |
＜40kHz |
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偏振消光比 |
＞20dB |
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功率稳定性（3 小时 RMS） |
＜0.75% |
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光束质量 |
M2＜1.3 |
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PZT调谐范围 |
＞3GHz |
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PZT调谐带宽 |
＞5kHz |
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电流调谐范围 |
＞1GHz |
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电流调谐带宽 |
＞1MHz |
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冷却方式 |
风冷/水冷 |
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(1)XXXX中心波长，单位nm，YY激光功率，单位W，例如355nm输出功率>2W： FL-SF-355-2-CW。
(2)光纤延迟自外差拍频法测量。
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选件 |
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AOM选件 |
AOM调谐范围：＞±5MHz AOM调谐带宽：＞500kHz |
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其他参数 |
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供电 |
100-240V , 50/60Hz |
更高功率，更多波长，可定制方案
