参数

型号

FL-SF-193-X⁽¹⁾-CW

中心波长

190nm

线宽⁽²⁾ (100 us 积分时间)

<100kHz

工作模式

连续激光输出

输出功率

>3mW

>10mW

>30mW

光斑直径

1±0.1 mm

2±0.2mm

光斑束腰位置（相对输出窗口） (m)

输出窗口±1m内

发散角 (全角)

<0.4mrad

椭圆度

>90%

指向稳定性 

<50urad @30min, RMS

光束质量

TEM00，M²<1.5

偏振

线偏振, >20dB

功率稳定性

<1% @2hours, RMS

相对强度噪声

<0.5%(RMS, 10Hz-10MHz 积分)

冷却方式

水冷

预热时间

冷启动

<2 小时

热启动

<30 分钟

尺寸和重量

激光控制器尺寸

≤483mm x 420mm x 133mm

（3mW）

激光头尺寸

≤550mm x 350mm x 131mm

（3mW）

水冷机尺寸

≤58cm x 29cm x 52cm

激光头重量

≤30kg

激光控制器重量

≤30kg

水冷机重量

≤25kg

激光头和控制器之间的线缆长度

光纤长度>10m

使用环境和供电功耗

工作温度（无凝露条件下）

15-35 ℃

供电

100V-240V, AC, 50/60Hz

功耗

<400W

通信

RS422