参数

型号

FL-SF-313-X-CW

中心波长

313nm-320nm中心波长可定制

线宽(100 us 积分时间)

<40kHz

工作模式

连续激光输出

输出功率

>300mW

>1W

>2W

光斑直径

1±0.15 mm

光斑束腰位置（相对输出窗口）

输出窗口±0.5m内

发散角 (全角)

<0.6mrad

椭圆度

>90%

指向稳定性 (峰峰值)

<50μrad@3h

光束质量

TEM00，M²<1.2

偏振

线偏振, 竖直±3°, >20dB

功率稳定性

<0.75% @3hours, RMS

相对强度噪声

<0.2%(RMS, 10Hz-10MHz 积分)

冷却方式

水冷

预热时间

冷启动

<2 小时

热启动

<15 分钟

尺寸和重量

激光控制器尺寸

≤483mm x 520mm x 132mm

激光头尺寸

≤390mm x 310mm x 130mm

水冷机尺寸

≤58cm x 29cm x 52cm

激光头重量

≤18kg

激光控制器重量

≤20kg

水冷机重量

≤25kg

激光头和控制器之间的线缆长度

不可拆卸光纤长度>1.5m

使用环境和供电功耗

工作温度（无凝露条件下）

15-35 ℃（水冷）

供电

100V-240V, AC, 50/60Hz

功耗

<170W

<200W

<240W

通信

RS422