解决方案

355nm窄线宽激光器

波长覆盖范围 177 - 5000nm
转到主页 >> 解决方案 >> 晶圆量测 >> 355nm窄线宽激光器

P R O D U C T S

355nm窄线宽激光器

基于单频种子激光器、光纤激光放大以及单次通过倍频技术,频准激光可以提供窄线宽的355nm的窄线宽激光器,最大输出为30mW,同时具有高频率稳定度,长寿命以及优异的光束质量。

特点
  • 窄线宽
  • 耐高温、震动的工作环境
  • 优异的光束质量
  • 永不跳模
应用
  • 精密测量
  • 干涉曝光

主要参数

 

参数

型号

FL-SF-355-X-CW

中心波长

355.00nm

线宽(100 us 积分时间)

<40kHz

工作模式

连续激光输出

输出功率

>20mW

>30mW

光斑直径

1±0.15 mm

光斑束腰位置(相对输出窗口)

输出窗口±0.5m内

发散角 (全角)

<0.7mrad

椭圆度

>90%

指向稳定性 (峰峰值)

<10μrad@3h

光束质量

TEM00,M²<1.1

偏振

线偏振, 竖直±3°, >20dB

功率稳定性

<0.75% @3hours, RMS

相对强度噪声

<0.1%(RMS, 10Hz-10MHz 积分)

冷却方式

风冷/水冷

预热时间

冷启动

<2 小时

热启动

<10分钟

尺寸和重量

激光控制器尺寸

≤483mm x 420mm x 133mm

(风冷)

≤483mm x 422mm x 105mm

(水冷)

激光头尺寸

≤475mm x 90mm x 70mm

水冷机尺寸

≤58cm x 29cm x 52cm

激光头重量

≤5kg

激光控制器重量

≤22kg

水冷机重量

≤25kg

激光头和控制器之间的线缆长度

不可拆卸光纤长度>1.5m

使用环境和供电功耗

工作温度(无凝露条件下)

15-30 ℃(风冷)

15-35 ℃(水冷)

供电

100V-240V, AC, 50/60Hz

功耗

<120W

通信

RS422

定制图标 更高功率,更多波长,可定制方案